巨化股份11月18日晚公告，公司擬設立全資子公司并由其投資1.5億元實施高純電子氣體項目(一期)，以加快電子化學品業務培育，促進轉型升級，優化產業規劃。
該項目擬新建1000t/a醫藥級氯化氫、1000t/a高純氯化氫、500t/a高純氯氣等系列產品的生產裝置及相關配套設施。其中，高純氯化氫主要用于半導體芯片生產過程中的清洗和外延生長工藝；高純氯氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導體行業，被用作蝕刻氣體和脫水劑；醫藥級氯化氫產品主要用于醫藥合成原料。
據測算，項目達產后，預計年均利潤總額5200萬元，所得稅前財務內部收益率約為24%，所得稅后財務內部收益率約為20%。根據公告，項目生產裝置計劃2015年4月開工建設，2015年12月具備試車條件。
業內人士介紹，電子氣體是特種氣體的一個重要分支。隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長，廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。（http://www.tomorrow-never-dies.com/）
